99.999%電子級氯化氫氣體相關(guān)參數(shù)

      產(chǎn)品名稱：氯化氫氣體  電子級氯化氫氣體  高純氯化氫氣體
      英文名：hydrogen chloride
      CAS編號：7647-01-0
      產(chǎn)品純度：99.999%
      包裝規(guī)格：44L
      充裝量：25公斤
      充裝壓力：4.2mpa（20°C）
      分子式： HCl
      分子量： 36.4

      99.999%電子級氯化氫氣體產(chǎn)品用途：
      大規(guī)模集成電路生產(chǎn)中，單晶硅片氣相拋光，外延基座腐蝕。

      99.999%電子級氯化氫氣體產(chǎn)品說明：
      氯化氫氣體為強刺激性，不燃氣體，溶水后有強烈腐蝕性。產(chǎn)品包裝于高壓專用鋼瓶中，處于液態(tài)。專用鋼瓶為鋼質(zhì)無縫氣瓶，瓶內(nèi)拋光處理。瓶閥為抗腐蝕不銹鋼隔膜閥。鋼瓶設(shè)計壓力為12.5Mpa,工作壓力約5-6Mpa。
      電子級氯化氫產(chǎn)品生產(chǎn)裝置于2003年投產(chǎn)，經(jīng)北京市科委鑒定，國家標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研究中心和信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心抽樣檢驗，純度大于99.999%，總雜質(zhì)含量小于5ppm，產(chǎn)品性能指標(biāo)與國際品牌相當(dāng)。主要用于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中單晶硅片的氣相拋光、外延基座腐蝕及硬質(zhì)合金制造。

      高純氯化氫產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝為我公司專利技術(shù)，具有自主知識產(chǎn)權(quán)，填補了國內(nèi)高純氯化氫產(chǎn)品生產(chǎn)的空白。氯化氫產(chǎn)品參照SEMI c3.35-1101氯化氫標(biāo)準(zhǔn)，并執(zhí)行國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T14602-2014（電子級）和企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)Q/HDHYF001-2019（化學(xué)級）。

圖為電子級氯化氫99.999%氣相雜質(zhì)檢測報告